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Shape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique

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Produktnummer: 18d6c2dbc928454ed4b77e8ae392c0899d
Autor: Frühauf, Joachim
Themengebiete: Design of etch masks and processes Microfluidics Micromechanics Microoptics Microtechnologies Sensor Silicon Etching Silicon Microstructures sensors
Veröffentlichungsdatum: 13.10.2010
EAN: 9783642060489
Sprache: Englisch
Seitenzahl: 222
Produktart: Kartoniert / Broschiert
Verlag: Springer Berlin
Untertitel: A Manual of Wet-Etched Silicon Structures
Produktinformationen "Shape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique"

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