Shape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique
Produktnummer:
18d6c2dbc928454ed4b77e8ae392c0899d
Autor: | Frühauf, Joachim |
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Themengebiete: | Design of etch masks and processes Microfluidics Micromechanics Microoptics Microtechnologies Sensor Silicon Etching Silicon Microstructures sensors |
Veröffentlichungsdatum: | 13.10.2010 |
EAN: | 9783642060489 |
Sprache: | Englisch |
Seitenzahl: | 222 |
Produktart: | Kartoniert / Broschiert |
Verlag: | Springer Berlin |
Untertitel: | A Manual of Wet-Etched Silicon Structures |
Produktinformationen "Shape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique"

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