Shape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique
Produktnummer:
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| Autor: | Frühauf, Joachim |
|---|---|
| Themengebiete: | Design of etch masks and processes Microfluidics Micromechanics Microoptics Microtechnologies Sensor Silicon Etching Silicon Microstructures sensors |
| Veröffentlichungsdatum: | 12.10.2004 |
| EAN: | 9783540221098 |
| Sprache: | Englisch |
| Seitenzahl: | 222 |
| Produktart: | Gebunden |
| Verlag: | Springer Berlin |
| Untertitel: | A Manual of Wet-Etched Silicon Structures |
Produktinformationen "Shape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique"
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