Flash Lamp Annealing
Produktnummer:
189ae735618cf94791a9f948fdb552a8d4
| Autor: | Prucnal, Slawomir Rebohle, Lars Reichel, Denise |
|---|---|
| Themengebiete: | FLA assisted deposition High-k dielectrics High-k materials Millisecond annealing Semiconductor nanostructures Transparent conducting oxides |
| Veröffentlichungsdatum: | 14.08.2020 |
| EAN: | 9783030233013 |
| Sprache: | Englisch |
| Seitenzahl: | 288 |
| Produktart: | Kartoniert / Broschiert |
| Verlag: | Springer International Publishing |
| Untertitel: | From Basics to Applications |
Produktinformationen "Flash Lamp Annealing"
Presents a detailed introduction to the flash lamp annealing technology and its physical background.Addresses advantages, drawbacks and process issues in detail and allows the reader to properly plan and perform their own thermal processingProvides a broad overview of the applications of flash lamp annealing, including a comprehensive literature surveyFeatures several unique case studies of simulated temperature profiles in real material systems to improve the reader’s understanding
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