Chemistry of Atomic Layer Deposition
Produktnummer:
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| Autor: | Barry, Seán Thomas |
|---|---|
| Themengebiete: | Atomic Layer Deposition Beschichtungen Materials Fabrication. Materialwissenschaften Oberflächen Thin Film Deposition Wekstoffwissenschaften |
| Veröffentlichungsdatum: | 22.11.2021 |
| EAN: | 9783110712513 |
| Auflage: | 1 |
| Sprache: | Englisch |
| Seitenzahl: | 105 |
| Produktart: | Kartoniert / Broschiert |
| Verlag: | De Gruyter |
Produktinformationen "Chemistry of Atomic Layer Deposition"
This book will help chemists and non-chemists alike understand the fundamentals of surface chemistry and precursor design, and how these precursors drive the processes of atomic layer deposition, and how the surface-precursor interaction governs atomic layer deposition processes. The underlying principles in atomic layer deposition rely on the chemistry of a precursor with a surface.
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