X-ray optics made by X-ray lithography: Process optimization and quality control
Produktnummer:
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| Autor: | Koch, Frieder Johannes |
|---|---|
| Themengebiete: | LIGA Phasenkontrast Röntgengitter Röntgenoptik Talbot-Effect Talbot effect X-ray gratings X-ray optics phase contrast |
| Veröffentlichungsdatum: | 16.10.2017 |
| EAN: | 9783731506799 |
| Sprache: | Englisch |
| Seitenzahl: | 170 |
| Produktart: | Kartoniert / Broschiert |
| Verlag: | KIT Scientific Publishing |
Produktinformationen "X-ray optics made by X-ray lithography: Process optimization and quality control"
Grating based X-ray phase contrast imaging sets out to overcome the limits of conventional X-ray imaging in the detection of subtle density differences and opens a way to characterize a sample’s microstructure without the need for ultrahigh spatial resolution. The technique relies on grating structures with micrometric periods and extreme aspect ratio – their fabrication by X-ray lithography with optimal structure quality is the topic of this work.
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