Silizium-Waterbonden: Montageprozesse für Silizium- und Glasmaterialien in der Mikromechanik
Produktnummer:
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| Autor: | Herziger, Kai Wiemer, Maik |
|---|---|
| Themengebiete: | Fügen Glas Mikromechanik Schweissen Silicium |
| Veröffentlichungsdatum: | 01.01.1998 |
| EAN: | 9783871554995 |
| Sprache: | Deutsch |
| Seitenzahl: | 98 |
| Produktart: | Kartoniert / Broschiert |
| Verlag: | DVS Media GmbH |
Produktinformationen "Silizium-Waterbonden: Montageprozesse für Silizium- und Glasmaterialien in der Mikromechanik"
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