Silicon Semiconductor Technology
Produktnummer:
189022ecacb6824ac4b43c2830c328046f
| Autor: | Hilleringmann, Ulrich |
|---|---|
| Themengebiete: | CMOS Circuit Integration Chemical Vapor Deposition Dry Etching Ion Implantation Local Oxidation of Silicon Nano Technology Packaging Processing of Silicon Silicon on Insulator Technology |
| Veröffentlichungsdatum: | 03.08.2023 |
| EAN: | 9783658410407 |
| Sprache: | Englisch |
| Seitenzahl: | 264 |
| Produktart: | Kartoniert / Broschiert |
| Verlag: | Springer Fachmedien Wiesbaden GmbH |
| Untertitel: | Processing and Integration of Microelectronic Devices |
Produktinformationen "Silicon Semiconductor Technology"
The book presents the basic steps and the technical implementation of individual processes for microelectronic circuit integration in silicon. Interaction and influences of e. g. oxidation, etching, doping and thermal processes for integrating CMOS- and Bipolar circuits are discussed in detail, beginning with the purification of silicon up to the encapsulated integrated circuit. It includes modern processes like atomic layer deposition and etching for nanoscale structures and compares improvements like silicide contacts, copper metallization, high-k dielectrics, and SOI and FINFET structures. All processes are presented looking from the process engineer’s view.
Sie möchten lieber vor Ort einkaufen?
Sie haben Fragen zu diesem oder anderen Produkten oder möchten einfach gerne analog im Laden stöbern? Wir sind gerne für Sie da und beraten Sie auch telefonisch.
Juristische Fachbuchhandlung
Georg Blendl
Parcellistraße 5 (Maxburg)
8033 München
Montag - Freitag: 8:15 -18 Uhr
Samstags geschlossen