Sekundärionen- und Neutralteilchenmassenspektrometrie an oxidischen Dünnschichtsystemen
Produktnummer:
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| Autor: | Lipinsky, Dieter |
|---|---|
| Themengebiete: | Gleichgewicht Massenspektrometrie Neutralteilchen Oxide Profil Reibung Spektrometrie Systeme Teilchen dünne Schichten |
| Veröffentlichungsdatum: | 01.01.1995 |
| EAN: | 9783824420667 |
| Sprache: | Deutsch |
| Seitenzahl: | 211 |
| Produktart: | Kartoniert / Broschiert |
| Verlag: | Deutscher Universitätsverlag |
| Untertitel: | Der Einfluß ionenbeschußindizierter Prozesse auf die Sekundärteilchenemission im Zerstäubungsgleichgewicht und an Schichtgrenzflächen |
Produktinformationen "Sekundärionen- und Neutralteilchenmassenspektrometrie an oxidischen Dünnschichtsystemen"
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