Plasma characterization and modelling for c-Si solar cells thin film deposition
Produktnummer:
181702a503375649bc9b34ec0454759c94
| Autor: | Rachdi, Lazhar |
|---|---|
| Themengebiete: | Energiequellen und Technologien Fraunhofer ISE Photovoltaic engineers Physik der kondensierten Materie Plasmaphysik Technologie der Oberflächenbeschichtung plasmascientists |
| Veröffentlichungsdatum: | 05.07.2022 |
| EAN: | 9783839618219 |
| Sprache: | Englisch |
| Seitenzahl: | 344 |
| Produktart: | Kartoniert / Broschiert |
| Verlag: | Fraunhofer Verlag |
Produktinformationen "Plasma characterization and modelling for c-Si solar cells thin film deposition"
In this work, plasmas produced during thin film deposition are characterized. Optical emission spectroscopy (OES) is used to extract the plasma parameters in a silane and ammonia gas mixture. The coupling of OES results with a global plasma model allowed us to calculate the different species densities. Finally, the deposited silicon nitride properties are related to the plasma characterization results.
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