Produktnummer:
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| Themengebiete: | Plasma collision dusty plasma integrated circuit optics photoelektrochemische Zelle plasma etching plasma processing |
|---|---|
| Veröffentlichungsdatum: | 12.10.2012 |
| EAN: | 9789401064866 |
| Sprache: | Englisch |
| Seitenzahl: | 613 |
| Produktart: | Kartoniert / Broschiert |
| Herausgeber: | Williams, P.F. |
| Verlag: | Springer Netherland |
Produktinformationen "Plasma Processing of Semiconductors"
Plasma Processing of Semiconductors contains 28 contributions from 18 experts and covers plasma etching, plasma deposition, plasma-surface interactions, numerical modelling, plasma diagnostics, less conventional processing applications of plasmas, and industrial applications. Audience: Coverage ranges from introductory to state of the art, thus the book is suitable for graduate-level students seeking an introduction to the field as well as established workers wishing to broaden or update their knowledge.
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