Modelling of Microfabrication Systems
Produktnummer:
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| Autor: | Dai, Weizhong Nassar, Raja |
|---|---|
| Themengebiete: | Chemical vapor deposition High Aspect Ratio Ion beam Laser ablation MEMS Microtechnology Photopolymerization X-ray lithography development laser |
| Veröffentlichungsdatum: | 08.12.2010 |
| EAN: | 9783642055362 |
| Sprache: | Englisch |
| Seitenzahl: | 270 |
| Produktart: | Kartoniert / Broschiert |
| Verlag: | Springer Berlin |
Produktinformationen "Modelling of Microfabrication Systems"
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