Mikrosystemtechnik
Produktnummer:
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| Autor: | Hilleringmann, Ulrich |
|---|---|
| Themengebiete: | Berechnung BranchenIndex Online Elektronik Fachinformatiker Ingenieurstudium Mikrosystem (MEMS) Mikrosystemtechnik Privatdozent Prüfungsvorbereitung Sensor |
| Veröffentlichungsdatum: | 25.04.2006 |
| EAN: | 9783835100039 |
| Sprache: | Deutsch |
| Seitenzahl: | 274 |
| Produktart: | Kartoniert / Broschiert |
| Verlag: | Vieweg & Teubner |
| Untertitel: | Prozessschritte, Technologien, Anwendungen |
Produktinformationen "Mikrosystemtechnik"
Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erläutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien für Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknüpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die möglichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Die jeweiligen Vorteile der Oberflächenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezüglich ihrer Kompatibilität zur Mikroelektronik bewertet.
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