Entwicklung und Optimierung von Prozeßkomponenten zur ionenunterstützten Abscheidung bei PVD-Verfahren
Produktnummer:
16A564867
| Autor: | Olbrich, Walter |
|---|---|
| Veröffentlichungsdatum: | 21.10.1994 |
| EAN: | 9783540585114 |
| Sprache: | Deutsch |
| Seitenzahl: | 128 |
| Produktart: | Kartoniert / Broschiert |
| Verlag: | Springer-Verlag GmbH Springer Berlin Heidelberg |
Produktinformationen "Entwicklung und Optimierung von Prozeßkomponenten zur ionenunterstützten Abscheidung bei PVD-Verfahren"
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