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Produktnummer: 18c460de9ce33f4d749549659690f0b241
Autor: Munro, Deborah
Themengebiete: Actuators Cleanrooms DIY Fabrication Lithography MEMS MEMS Packaging Microelectromechanical systems Microfabrication Nanotechnology
Veröffentlichungsdatum: 06.12.2020
EAN: 9783030330750
Sprache: Englisch
Seitenzahl: 188
Produktart: Kartoniert / Broschiert
Verlag: Springer International Publishing
Untertitel: Fabricating Microelectromechanical Systems in Open Use Labs
Produktinformationen "DIY MEMS"
This book describes the future of microscopically small medical devices and how to locate a lab to start conducting your own do-it-yourself microelectromechanical systems (MEMS) research in one of the many national, international, government, and other regional open use facilities, where you can quickly begin designing and fabricating devices for your applications. You will learn specific, tangible information on what MEMS are and how a device is fabricated, including what the main types of equipment are in these facilities. The book provides advice on working in a cleanroom, soft materials, collaboration, intellectual property and privacy issues, regulatory compliance, and how to navigate other issues that may arise. This book is primarily aimed at researchers and students who work at universities without MEMS facilities, and small companies who need access to MEMS resources.

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