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An Introduction to Surface-Micromachining

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Produktnummer: 1829f6e3bf7fe74ce5a639ef7d5e41f605
Autor: Johnstone, Robert W. Parmaswaran, Ash
Themengebiete: LIGA Scratch Wafer design manufacturing mechanics modeling physics
Veröffentlichungsdatum: 12.12.2012
EAN: 9781475710779
Sprache: Englisch
Seitenzahl: 189
Produktart: Kartoniert / Broschiert
Verlag: Springer US
Produktinformationen "An Introduction to Surface-Micromachining"
An Introduction to Surface-Micromachining provides for the first time a unified view of surface-micromachining. Building up from the basic building block of microfabrication techniques, to the general surface-micromachining design, it will finish with the theory and design of concrete components. An Introduction to Surface-Micromachining connects the manufacturing process, microscale phenomena, and design data to physical form and function. This book will be of interest to mechanical engineers looking to scale down into micromachining and microelectronics designers looking to move horizontally to micromachining.

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